是兼有Stocker功能已經(jīng)通常的生產(chǎn)用Wafer sorter功能的復(fù)合型機(jī)臺(tái)。用小尺寸的占地面積來實(shí)現(xiàn)Wafer的分選和收納。
● 可存入600片Wafer，并且可按區(qū)域管理
● 采用高速單體和構(gòu)造，運(yùn)用最優(yōu)的傳片方式來進(jìn)行Wafer分選
● 內(nèi)置的百葉窗結(jié)構(gòu)將Stocker和Sorter內(nèi)部的微環(huán)境隔離
● 有自動(dòng)Teaching功能縮短Teaching時(shí)間
● 可讀取正反兩面的Wafer ID
