搭載新型潔凈機器人和高速直驅(qū)走行軸，可實現(xiàn)高速傳輸。
可以選擇標準機型或者選擇高度自由定制機型，根據(jù)需求搭配各個模塊。
取放片方式可選O-RING、Vacuum或者Edge Clamp。（OPTION）
Aligner可以選配2臺，以實現(xiàn)更高產(chǎn)能。（OPTION）
可以對應OHT和AGV。（OPTION）
可實現(xiàn)200/300mm兼容。（OPTION）
可選配FFU、離子棒、追加buffer等功能模塊。（OPTION）
可以選擇對應N2/XCDA purge的LOAD PORT。（OPTION）
可以選配手操器。（OPTION）
| 型號： | RSC131 | ||||
| Load Port數(shù)： | 2Port | ||||
| 搬送對象： | 300mm Wafer | 直徑：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 電源電壓： | 單相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 電流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含F(xiàn)FU在內(nèi) | ||||
| 真空（元壓）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 40L/min | ||||
| Air（元壓）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 20L/min | ||||
| EMO接點輸出： | 2個觸點 | ||||
| Interlock： |
輸入8點/輸出8點(絕緣I/O) |
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| 型號： | RSC141 | ||||
| Load Port數(shù)： | 3Port | ||||
| 搬送對象： | 300mm wafer | 直徑：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 電源電壓： | 單相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 電流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含F(xiàn)FU在內(nèi) | ||||
| 真空（元壓）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 50L/min | ||||
| Air（元壓）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 30L/min | ||||
| EMO接點輸出： | 2個觸點 | ||||
| Interlock： |
輸入8點/輸出8點(絕緣I/O) |
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| 型號： | RSC151 | ||||
| Load Port數(shù)： | 4Port | ||||
| 搬送對象： | 300mm wafer | 直徑：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 電源電壓： | 單相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 電流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含F(xiàn)FU在內(nèi) | ||||
| 真空（元壓）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 60L/min | ||||
| Air（元壓）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 40L/min | ||||
| EMO接點輸出： | 2個觸點 | ||||
| Interlock： |
輸入8點/輸出8點(絕緣I/O) |
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