PLVS/真空平臺(tái)是搭載了各種真空機(jī)械手,真空Aligner等使用DDM(真空直驅(qū)馬達(dá))的驅(qū)動(dòng)模組的真空單體,可以實(shí)現(xiàn)位置精度的高再現(xiàn)性,以及優(yōu)越的真空隔絕性能,可以實(shí)現(xiàn)高潔凈度的搬送System。以及,可以根據(jù)客戶的需求進(jìn)行設(shè)備單體的組合,可簡(jiǎn)易地實(shí)現(xiàn)高性能的真空環(huán)境下的搬送,適用于E-Beam Lithography、PVD、CVD、Etch、MR Head Deposition、MEMS、Inspection & Metrology等各種半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用。
最合適的System構(gòu)成
最小的Footprint
高潔凈度控制。
超高真空
高產(chǎn)能