可以同時(shí)兼容FOUP，Auto Door FOSB和Open Cassette的Load port?？梢远虝r(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速地使用切換，該款也繼承了RORZE標(biāo)準(zhǔn)的Load Port的開關(guān)門方式，可以精密控制FOUP的開關(guān)門動(dòng)作的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高水平的潔凈度控制。

FOUP 和 Auto FOSB標(biāo)準(zhǔn)化對(duì)應(yīng)

RORZE獨(dú)特的開關(guān)門機(jī)構(gòu)及高精度的動(dòng)作控制，以及高潔凈度控制。

通過Stage Adapter的使用，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)Open Cassette。