標(biāo)準(zhǔn)款Load Port。采用RORZE獨特的開關(guān)門機構(gòu),可以精密控制FOUP的開關(guān)門動作的同時,實現(xiàn)高水平的潔凈度控制。
FOUP 和 Auto FOSB標(biāo)準(zhǔn)化對應(yīng)
RORZE具有高精度以及高潔凈度的特性。
標(biāo)準(zhǔn)款Load Port。采用RORZE獨特的開關(guān)門機構(gòu),可以精密控制FOUP的開關(guān)門動作的同時,實現(xiàn)高水平的潔凈度控制。
FOUP 和 Auto FOSB標(biāo)準(zhǔn)化對應(yīng)
RORZE具有高精度以及高潔凈度的特性。
輸入電源: | DC24V±10% 6A |
壓縮空氣: | 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上 |
真空空氣: | -60kPa ? -80kPa 10L/min以上 |
N2: | - |