在θ軸上有X軸以及Y軸，并且有wafer位置補(bǔ)正的Z軸，可以實(shí)現(xiàn)高精度的預(yù)對(duì)準(zhǔn)。
提高產(chǎn)量
高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
可對(duì)應(yīng)透明片、鍵合片
在θ軸上有X軸以及Y軸，并且有wafer位置補(bǔ)正的Z軸，可以實(shí)現(xiàn)高精度的預(yù)對(duì)準(zhǔn)。
提高產(chǎn)量
高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
可對(duì)應(yīng)透明片、鍵合片
| Wafer尺寸： |
直徑150mm~300mm(RA420-6CV-L) 直徑100mm~200mm(RA420-48V-L) |
| Notch角度精度： | ±0.05 ～ ±0.1° ※根據(jù)校準(zhǔn)模式的區(qū)別會(huì)有所不同 |
| 中心精度： | ±0.05 ～ ±0.1mm ※根據(jù)校準(zhǔn)模式的區(qū)別會(huì)有所不同 |
| 定位時(shí)間： | 2.5 ～ 6.5sec ※根據(jù)校準(zhǔn)模式的區(qū)別會(huì)有所不同 |
| 輸入電源： | DC24V 4A |
| 通訊方式： | TCP/IP（可以選配，對(duì)應(yīng)RS232C） |
