RR481回旋鏢式手臂真空機(jī)械手(雙臂)由于采用了直驅(qū)馬達(dá),實(shí)現(xiàn)了高重復(fù)定位精度以及高真空隔絕性能。另外,由于使用鋼帶的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),在保證較小的旋轉(zhuǎn)范圍的同時(shí),可以使用較長(zhǎng)的末端執(zhí)行器。
較小的旋轉(zhuǎn)范圍
可以使用較長(zhǎng)的手指,實(shí)現(xiàn)較長(zhǎng)的伸展距離
可以對(duì)應(yīng)較窄的門(mén)閥開(kāi)口(15mm)
高精度
對(duì)應(yīng)超高真空
高產(chǎn)能
可以選配AWC功能(wafer位置補(bǔ)正)