RR757 該款大氣機(jī)械手是搭載絕對(duì)編碼器以及步進(jìn)馬達(dá)的SCARA Robot。通過(guò)手臂和旋轉(zhuǎn)軸配合的補(bǔ)間動(dòng)作，

可以不搭配行走軸，獨(dú)立對(duì)應(yīng)雙Load port場(chǎng)景的晶圓傳輸。雙臂的構(gòu)造可以在最短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行Wafer置換，從而提高產(chǎn)能。

若搭配行走軸，機(jī)械手能控制本體和外部行走軸進(jìn)行同步動(dòng)作，示教階段亦可實(shí)現(xiàn)。

全軸搭載含ABS編碼器的步進(jìn)馬達(dá)

不搭配行走軸，獨(dú)立對(duì)應(yīng)雙Load port場(chǎng)景的晶圓傳輸。

手臂高剛性對(duì)應(yīng)高重量的負(fù)載

雙臂構(gòu)造從而實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能

可以控制外部行走軸